華海清科成功交付首臺12英寸封裝減薄貼膜一體機
來源：中國能源新聞網(wǎng) 時間：2024-06-17 14:42
中國能源新聞網(wǎng)訊（李鑫）6月12日，四川能投華海清科股份有限公司（以下簡稱“華海清科”）首臺12英寸封裝減薄貼膜一體機Versatile–GM300出機發(fā)往國內(nèi)頭部封測企業(yè)，此產(chǎn)品是繼成功推出量產(chǎn)機型減薄拋光一體機（Versatile–GP300）之后，華海清科再次在先進封裝領域推出的關鍵核心產(chǎn)品Versatile–GM300，為公司業(yè)務多元化增長注入新動能。
封裝減薄貼膜一體化設備Versatile–GM300，全機采用新型布局，可靈活實現(xiàn)薄型晶圓背面超精密研削與干式拋光應力去除功能，搭配晶圓貼膜機聯(lián)機使用，可為8/12英寸晶圓安全可靠地提供從精密減薄、清洗干燥到粘貼料環(huán)、背膜剝離的全流程自動作業(yè)，滿足高端封裝領域的薄型晶圓生產(chǎn)工藝技術需求。
Versatile–GM300超精密晶圓減薄機，在技術上突破了超薄片減薄工藝技術壁壘，依托先進的厚度均勻性控制技術，可實現(xiàn)片內(nèi)均勻性TTV<1.0μm，達到了國內(nèi)領先和國際先進水平。此外，該產(chǎn)品具有高精度、高剛性、工藝開發(fā)高靈活性等優(yōu)點，可廣泛應用于封裝領域中的晶圓背面減薄、BG/DC倒膜等工藝。本次12英寸封裝減薄貼膜一體機Versatile–GM300的交付將顯著增強華海清科在封裝設備市場的競爭力，并鞏固其行業(yè)領導地位。
責任編輯：楊娜
